Microwave Induced Plasma
마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 반응이온 생성기술 마이크로웨이브 발생기로부터 생성된 플라즈마에 물(H₂O)과 공기(N₂, O₂)를Inductively Coupled Plasma
유도결합 플라즈마(Electrical energy RF coil → Kinetic energy gas)에 의하여 이온화 Aerosol 형태의 Sample은 Argon gas를 이용한 6,000-8,000 K의 ICP를Ion Molecule Reaction Cell
반응이온이 챔버 내부로 일정하게 유입되는 가운데 반응챔버 상단에서 시료를 직접 도입함 챔버 내에서 반응이온과 시료성분간의 정량적 이온화 반응을 제어Reaction / Collision Cell
수소, 헬륨과 같은 충돌반응가스, Interface를 통과한 이온들이 사중극자 질량분리기HARDWARE
질량분석 시스템에 요구되는 다양한 이온화 장치와 정밀한 이온 조작장치들의 제어를 위한SOFTWARE
시스템 내장 터치패드 컨트롤러를 사용한 시스템 제어 소프트웨어와 시료의 분석결과를IMR-MS
1차 질량 필터에서 반응이온을 선택적으로 다음단계로 이동, 2차 질량 필터에서 Reaction cell을ICP-MS
Ion optics 으로 가운데로 모아주고 Mass separation device로 분석 대상 이온만 통과 입구 슬릿을 통해 들어온 이온들은 질량 필터에서 이온을 에너지 크기에 따라 분산시켜